第106回ジオダイナミクスセミナー
Geodynamics Seminar
「液中プラズマによる炭化物の合成」
"Synthesis of carbide using plasma in liquids"
講師：野村 信福（愛媛大学工学部助教授）
主催 ： 愛媛大学地球深部ダイナミクス研究センター
日時 ： ２００４年７月２３日（金）17：00〜
場所 ： 愛媛大学理学部講義棟 ２０１教室
要 旨
液体中に高周波プラズマを発生させる液中プラズマは，液体中を化学反応場
として提供する新しい技術です．
エネルギーの供給源は電子調理器等に使われるマイクロ波であり，特殊な装置を用いることなく，
室温大気圧中でプラズマを発生させることができます．蒸着速度は気相プラズマの約9000万倍
にも達するために，従来の気相プラズマ技術を飛躍的に向上させる革新的な化学蒸着新技術とし
て期待されています．
本講演では，本技術をDLCやSiCなどの様々な炭化物を液中で合成させる手段
として用いた場合の研究結果について紹介します．
問い合わせ先：山崎 大輔 TEL （089）927-8408
E-mail yamazaki@sci.ehime-u.ac.jp
