微小試料分析装置群

電子顕微鏡および関連装置

数万倍以上の高倍率下での高分解能観察が可能な電子顕微鏡.主に高圧実験からの回収試料の極微小領域の組織観察・化学組成分析に用いる.エネルギー分散型X線分光装置(EDS; Oxford, X-max20,ドライタイプ・SDD)および電子線後方散乱回折装置(EBSD),カソードルミネッセンス検出器(Gatan, MiniCL)を備えており,元素定量・定性分析や結晶方位解析などを通して多面的な物性評価が可能。
主に高圧実験からの回収試料の微細組織観察・化学組成分析に用いる.元素定量・定性分析用に最新型のエネルギー分散X線分光(EDS)検出器(Oxford, X-max50,ドライタイプ・SDD)を備えている。
試料の微細組織観察や化学組成分析に用いる.表面組織を観察するSEMとは異なり,電子線の透過・回折像から試料内部の微細組織や結晶構造分析を行う。高速CCDカメラ2基(Gatan, Orius200D, 1000)を備えており,数十万倍下での高分解能像観察も可能.元素定量・定性分析用にエネルギー分散X線分光(EDS)検出器(JEOL,JED-2200)を備えている。
ガリウムイオンビームを試料に照射して断面観察用の試料加工を行う装置。主に,ATEM観察用の薄膜作成に用いるほか,ビーム照射時の二次電子像(SIM像)を利用した試料観察,特に,極微小のDAC試料の加工・観察にも有用。
主に走査型電子顕微鏡観察の試料の帯電防止加工処理に使用.蒸着材料にはそれぞれ長所・短所があるため,目的に応じて選択する。特にオスミウム蒸着装置は,膜厚の正確なコントロールおよび極めて薄い製膜が可能であり,複雑な凹凸組織を持つ試料や高分解能像観察,および化学分析に特に有効である。

その他
・イオンスライサ IS(JEOL, EM-09100 IS)
・クロスセクションポリッシャ CP(JEOL, IB-19510CP)
・アルゴンイオンミリング装置 Ar milling(Gatan, PIPS)

X線・その他分光装置

試料の微小領域からのX線回折パターンを二次元検出器により測定する.CuとMoの2線源の切替が可能で,CuKαを用いた一般的な反射,透過測定に加え,透過力が高く,波長の短いMoKαとDACの組み合わせによる高圧下X線回折測定に使用。
粉末試料や薄膜試料のX線回折パターンをゴニオメータ光学系により測定する装置. 目的に応じ、基本光学系である「集中光学系」と「平行ビーム光学系」、「小角散乱光学系」の切替が可能.検出器には標準のシンチレーションカウンタの他に、高速・高感度測定が可能な高速一次元検出器「D/teX Ultra」を搭載している.主に,粉末・バルク試料の相同定や格子定数精密測定に使用する。

その他
・顕微ラマン分光装置 RAMAN(日本分光,NRS-5100;PHOTON Design, RSM 800)
・顕微赤外分光装置 FT-IR(PerkinElmer, Spectrum One)
・紫外可視近赤外分光システム UV-Vis-NIR(日本分光, Jasco V-670)

地球深部ダイナミクス研究センター

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